Zudosierung von Metallen bzw. Metallverbindungen in Diamant CVD Anlagen

Die Zugabe von Titan oder Vanadin in den CVD-Diamantbeschichtungsprozess soll neue elektrische Zustände im Diamantgitter ermöglichen. Auch der Einfluss der Metallzugabe auf die mechanischen Diamanteigenschaften wird untersucht.

Arbeitsschwerpunkte:

• Verdampfersysteme für metallorganische Verbindungen mit Titan bzw. Vanadin.
• Kombination von Sputterverfahren mit Hot-Filament Diamant-CVD.

• Glaser A., Rosiwal S., Singer R.:
  Chemical vapor infiltration (CVI) - Part II: Infiltration of porous substrates with diamond by using a new designed hot-filament plant
  In: Diamond and Related Materials 15 (2006), S. 49-54
  ISSN: 0925-9635
  DOI: 10.1016/j.diamond.2005.07.010